반도체 및 디스플레이 업종 온실가스 산정방법 기준 개정

반도체 업종은 한국의 국가안보 및 경쟁력 변화의 파급효과가 가장 큰 중요한 자산이다. 수출 비중이 약 20%에 달하며 세계 시장 점유율 2위인 주요 업종이기도 하다.

국내 반도체 및 디스플레이 생산량 증가로 온실가스 배출량이 지속적으로 증대하면서 이에 따른 온실가스 감축이 필요해졌다. 감축량을 산정할 수 있는 측정방법을 마련해야 한다는 지적이다.

반도체 및 디스플레이 분야 온실가스 감축량 산정을 위한 가장 현실적인 방안은 제조과정 중 식각(Etching) 및 증착(CVD, Chemical Vapor Deposition) 공정에 사용되는 불소 화합물 및 온실가스에 대해 처리시설(스크러버)을 통해 파괴되거나 제거되는 저감 효율을 측정하는 방식이다.

이와 관련, 국립환경과학원은 반도체 및 디스플레이 업종의 주요 온실가스 배출량 및 감축량을 정확하게 산정할 수 있도록 개정한 온실가스공정시험기준을 국립환경과학원 누리집을 12일 공개했다.

온실가스공정시험기준은 사업장에서 배출하거나 대기 중에 존재하는 온실가스의 농도를 정확하게 측정하는 데 필요한 시험방법을 뜻한다. 이번 개정으로 반도체 및 디스플레이 업종에서 배출되는 온실가스 농도를 적외선흡수분광법으로 측정해 감축 활동에 대한 정량평가가 가능해졌다. 또한 감축시설의 저감 효율 측정뿐만 아니라 공정 과정 중에 쓰이는 온실가스(육불화황 등)의 사용 비율을 평가하고 이때 발생하는 부생 가스(사불화탄소 등)에 대한 측정까지 가능해진다.

이번에 개정된 온실가스공정시험기준은 지난해 11월 사전 행정예고를 통해 국민들의 의견이 반영되고, 이후 수정안에 대해 관련 전문가 및 관계 기관 검토를 거쳐 마련됐다.

유명수 국립환경과학원 기후대기연구부장은 “이번 온실가스공정시험기준 개정은 반도체와 디스플레이 업종의 탄소중립 노력에 대한 정량평가 기준 수립에 의의가 있으며, 앞으로도 이를 활용해 기술경쟁력뿐만 아니라 온실가스 감축에 대한 선도적인 역할을 수행할 수 있는 기반을 확보하겠다”라고 말했다.